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    産品&技術

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    Array-自動線寬測量設備(CDOL)

    平闆顯示非晶矽陣列檢測(a-Si Array)



       
    Array-自動線寬測量設備(CDOL)是用于平闆顯示面闆工藝中關鍵尺寸的線寬和疊合度檢測。采用業界獨創的光學顯微鏡系統和優化的應用功能配置以滿足高節拍、多尺寸面闆檢測和客制化應用等各種需求。


        應用範圍:

    Ø  G2.5代到G11代 TFT-LCD面闆廠Array Offline CDO

     

    主要功能:

    Ø  關鍵尺寸測量(critical dimension)

    Ø  疊合度測量(overlap)

    Ø  手動和自動拍照系統

    Ø  測量結果補償和報警系統

    Ø  面闆質量判級系統( Defect Judge)

    Ø  數據分析和趨勢統計

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