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    産品&技術

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    運動及控制

    運動平台采用分段式非接觸的氣浮平台,提高了玻璃基闆的平整度,實現了高精度高速檢測。模塊化的機械設計提高了平台可靠性,平台主體構型兼容多種照明系統,且适用于在線和離線檢測技術。運動控制電機定位精度達到納米級别。


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